Kompakte semi-kubus Dickenmessanlage für hochgenaue und präzise Stärkemessung von dünnen kreisrunden Geometrien, speziell für Prüflinge der Präzisionsoptikfertigung und Halbleiterindustrie.
Mit dieser neuartigen Dickenmessanlage gelingt eine hochgenaue und präzise Stärkemessung / Dickemessung von dünnen kreisrunden Geometrien, speziell für Prüflinge aus der Halbleiterindustrie. Die statische Auflösung beträgt 28 nm bei 1 kHz und wird durch ein konfokal-chromatisches Sensorsystem umgesetzt.
wird im vollautomatischen Messprozess eine mineralische Messplatte agil bewegt, welche aus Naturhartstein besteht und sowohl ein biegelinienoptimiertes Design aufweist als auch auf seine Eigenschwingformen und Eigenfrequenzen hin untersucht und anwendungsoptimiert ausgelegt wurde.
Zudem bieten zwei Goniometer eine präzise Feineinstellung der Sensorik in 5 Freiheitsgraden, wodurch Sensorik und Prüfling in optimaler Ausrichtung zueinander eingestellt und über 3 Achsen dynamisch bewegt werden können.
