Mobile konfokale Messanlage zur präzisen Topographie-, Laser-Scribe- und Schichtdickenmessung von Dünnschichtfolien und -verbunden zur Qualitätssicherung für den flexiblen Einsatz in der Halbleiterfertigung.
Die konfokale Messanlage ermöglicht die hochpräzise messtechnische Charakterisierung von Dünnschichtfolien und Dünnschichtverbünden direkt im fertigungsnahen Umfeld der Halbleiterindustrie.
Durch die Kombination aus konfokaler Sensorik und kamerabasierter Bildverarbeitung werden selbst feinste Strukturen, Oberflächenprofile und Schichtdicken zuverlässig erfasst und ausgewertet.
Das schafft maximale Prozesssicherheit und reproduzierbare Messergebnisse in sensiblen Fertigungsprozessen.
Mit drei integrierten Messverfahren vereint die Sondermaschine Topographie-Scans, die präzise Vermessung von Laser-Scribes sowie die exakte Schichtdickenmessung in einer einzigen Anlage.
Die intelligente Verknüpfung der Messdaten ermöglicht eine umfassende Analyse dünner Materialstrukturen und unterstützt eine frühzeitige Erkennung von Abweichungen.
Das verbessert die Produktqualität und erhöht die Stabilität anspruchsvoller Halbleiterprozesse nachhaltig.
Konzipiert für den mobilen und flexiblen Einsatz, lässt sich die konfokale Messanlage effizient in unterschiedliche Produktions- und Prüfumgebungen integrieren.
Der kompakte Messplatz unterstützt Unternehmen dabei, Qualitätsprüfungen direkt an der Fertigung durchzuführen und Messprozesse bedarfsgerecht anzupassen.
Dadurch werden Wege reduziert, Prüfzeiten verkürzt und die Effizienz in der Qualitätssicherung nachhaltig gesteigert.
