Anspruchsvolle Messeinrichtung zur präzisen Vermessung und Identifikation selbst feinster Konturen von komplexen Ringgeometrien wie sie in der Halbleiterfertigung Verwendung finden.
Die präzise Vermessung von größeren kreisrunden Geometrien bspw. in der Form eines Rings ist eine Herausforderung. Wir durften einen beachtlichen Messplatz mit in jeder Hinsicht beeindruckenden Eigenschaften für die Halbleiterindustrie entwickeln.
Die hochautomatisierte Autofrettag- und Abgleichanlage besitzt eine Vielzahl von intelligenten Features, welches unseren Kunden in die Lage versetzt, verschiedenste Produkte auf Herz und Nieren zu prüfen. Dazu gehören Funktionen zur Sensorstabilisierung (Nullpunktstabilität), automatisierte Druckabgleiche mit flüssigen und gasförmigen Fluiden bei bis zu 1000 bar sowie ein gradientengeführtes thermisches System zum präzisen Temperaturabgleich.
Bemerkenswert ist zudem der vielschichtige Datenfluss zwischen den Rechnersystemen und dem Server. Die komplexen Zusammenhänge werden dem Bediener auf einer benutzerfreundlichen Bedienung und Visualisierung zugänglich gemacht.
